Silikon Karbid Gofret İncəlmə Maşını əsasən silikon vafli, qallium arsenid, silisium karbid keramika, sirkoniya keramika, qrafit, litium tantalat və s. kimi substrat materiallarının incəlməsi üçün istifadə olunur.
Yüksək dəqiqlikli şaquli vafli daşlama maşınları SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO kimi üçüncü nəsil yarımkeçirici materialları üyüdə bilir. DL-GSD seriyası Çində öz istehsalı olan daşlama maşınıdır və onun performansı dünya standartına çatmışdır.